項(xiàng)目名稱：原子層沉積系統(tǒng)

采購單位：化工學(xué)院

采購方式：詢價(jià)

成交單位：元于科技（北京）有限公司

成交價(jià)格：298000元

購買數(shù)量：1套

產(chǎn)品型號(hào)：YT-ALD150

評(píng)審日期：2022年7月19日

主要技術(shù)參數(shù)：

1. 主機(jī)

1.1  標(biāo)準(zhǔn)6 英寸原子層沉積系統(tǒng)

1.2  2路前驅(qū)體源，包括管路、高溫ALD閥門、50ml 源瓶，2路均為加熱源

1.3  沉積自動(dòng)控制系統(tǒng)

1.4  沉積程序控制軟件

1.5  預(yù)裝Windows 的筆記本電腦

2.  選配前驅(qū)體源：包括管路、加熱套、高溫ALD 網(wǎng)門、50ml 源瓶（最高可配6路前驅(qū)體）

3. 真空機(jī)械泵系統(tǒng)：機(jī)械泵與相關(guān)管路

    真空機(jī)械泵型號(hào)：北儀優(yōu)成TRP-6

公示時(shí)間：2022.7.20-2022.7.26，如有異議請(qǐng)撥打64253334向王偉老師反映