項(xiàng)目名稱：深紫外穆勒矩陣橢偏儀

采購(gòu)單位：化工學(xué)院

采購(gòu)方式：詢價(jià)

成交單位：武漢頤光科技有限公司

成交價(jià)格：378000元

購(gòu)買數(shù)量：1套

產(chǎn)品型號(hào)：SE-VM-L(190-1000nm)

評(píng)審日期：2022年5月9日

主要技術(shù)參數(shù)：

1.測(cè)量能力：一次性獲得全穆勒矩陣16個(gè)元素（m11歸一化，8組rpp, rss主對(duì)角偏振元素，8組rsp, rps輔對(duì)角偏振元素）、偏振態(tài)Psi/Delta（其中Delta值域：-90-270°，360度無(wú)死角）、反射率/透射率、退偏指數(shù)等光譜

2.光譜范圍：190-1000nm 覆蓋深紫外到近紅外波段，無(wú)光纖外接設(shè)計(jì)

3.測(cè)量時(shí)間：?jiǎn)吸c(diǎn)測(cè)量不超過(guò)15秒

4.光斑尺寸：大光斑模式2-4mm，微光斑模式200μm消透明襯底背反

5.可視化調(diào)平系統(tǒng)：支持樣件臺(tái)可視化輔助對(duì)準(zhǔn)調(diào)平

6.光強(qiáng)調(diào)節(jié)方式：基于樣件反射信號(hào)自適應(yīng)調(diào)整積分時(shí)間實(shí)現(xiàn)最佳光強(qiáng)信號(hào)探測(cè) ，支持實(shí)時(shí)打印積分時(shí)間、采集幀數(shù)

7.調(diào)制技術(shù)：超級(jí)消色差雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器PCr1SCr2A調(diào)制技術(shù)

8.入射角范圍：45-90°(5度步進(jìn)) 

9.樣品臺(tái)：支持Z向，俯仰可調(diào)，支持樣件尺寸到Ф200mm，支持樣件真空吸附固定

10.重復(fù)性測(cè)量精度：優(yōu)于0.005nm （100nm SiO2硅片，30次重復(fù)測(cè)量）

11.偏振精度：穆勒矩陣優(yōu)于：對(duì)角元素m=1±0.005， 非對(duì)角元素m=0±0.005（直通模式測(cè)量空氣，所有測(cè)量波長(zhǎng)點(diǎn)的90%滿足）

12.褪偏指數(shù)Depolarization精度優(yōu)于：±0.5%（測(cè)量裸硅，全波段90%滿足）

13.分析軟件：支持16個(gè)穆勒矩陣偏振元素建模仿真與分析功能，內(nèi)置多達(dá)數(shù)百種的光學(xué)材料常數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)，并支持用戶自定義光學(xué)材料庫(kù)；具備多層各向同性/異性光學(xué)薄膜建模分析能力

14.測(cè)控分析電腦：CPU：≥雙核心處理器，RAM：≥8G，ROM：≥1024G，顯示器：≥19寸， windows操作系統(tǒng)

公示時(shí)間：2022.5.10-2022.5.16，如有異議請(qǐng)撥打64253334向王偉老師反映。